シーズ&ニーズセミナー 2016年 1月29日(金)12:20-13:05 C会場

仇 立靖

パーク・システムズ・ジャパン

ナノ領域に革新的な技術をもたらす次世代型AFMシステムのご紹介

製品ラインナップすべての機種において、XY及びZスキャナをそれぞれ分割し、クロストークを排除、ボーイングエラーの解消を実現することにより、XYスキャン全域で1nm以内の平坦度を達成します。また、NXシリーズは最もセンサーノイズの低い検出素子の採用と、高速Zスキャナを搭載することにより、正確なAFM計測を可能にした「高性能クローズドループスキャナ」を実現しました。この高性能スキャナと他社に無い完全非接触「ノンコンタクトAFM」により、測定精度、再現性とも極めて高い計測を可能にしました。そして、新たに「SmartScan」ソフトウエアを標準装備。優れたユーザーインターフェイスにより、初心者の方でも直感的に設定、操作する事ができ、煩雑な条件や各パラメータの設定作業を簡素化します。物性値を計測する多様な測定モードもオプションにて各種用意しており、物性計測に最適な測定モードをお選び頂く事ができます。

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